特許
J-GLOBAL ID：200903006386766901
誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小野田 芳弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-124962
公開番号（公開出願番号）：特開2002-319370
出願日： 2001年04月23日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：
【要約】【課題】高いランプ効率を有する誘電体バリヤ放電ランプおよびこれを用いた紫外線照射装置を提供する。【解決手段】紫外線透過性の材料からなる細長い管状の気密容器1の内壁面との間の距離が3mm以下で、かつ、気密容器1の軸方向にピッチP(m)で多数の単位メッシュ部分2bが配設されていてメッシュ状をなす内部電極2を気密容器1内にその軸方向に沿って封装するとともに、エキシマ生成ガスを圧力p(Pa)が20000以上で封入し、気密容器1の外面に外部電極3を備えた発光管LTと、紫外線透過性の材料からなり、内部に発光管LTを収納するとともに、内部に紫外線吸収の少ないガスを充満させる細長い管状の外管OTとを具備し、エキシマ生成ガスの圧力pおよび内部電極2の単位メッシュ部分2bのピッチPの積p・Pが下式を満足する。p・P<600
請求項（抜粋）：
紫外線透過性の材料からなる細長い管状の気密容器、多数の単位メッシュ部分が気密容器の軸方向にそれぞれ空隙を介して配設されたメッシュ状をなしていて、気密容器内にその軸方向に沿って封装されているとともに、単位メッシュ部分と気密容器の内壁面との間の距離が3mm以下で、かつ、単位メッシュ部分の気密容器の軸方向に対するピッチがP(m)の内部電極、気密容器内に封入された圧力p(Pa)が20000以上のエキシマ生成ガス、ならびに気密容器の外面に配設された外部電極を備えた発光管と;紫外線透過性の材料からなり、内部に発光管を収納するとともに、内部に紫外線吸収の少ないガスを充満させる細長い管状の外管と;を具備し、エキシマ生成ガスの圧力pおよび内部電極のメッシュ状部分のピッチPの積p・Pが下式を満足することを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ。p・P<600
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 65/00 D
, G21K 5/00 Z
