特許
J-GLOBAL ID：200903006390476837
出力安定化短波長光源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-284124
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130437
出願日： 1992年10月22日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 励起用半導体レーザヘの注入電流のフィードバックや非線形光学素子への電界印加によるフィードバックを行うことにより、レーザ出射光の光強度の安定化を図ることが可能な出力安定化短波長光源を提供する。【構成】 少なくとも励起用半導体レーザ14と、レーザ媒質16と、非線形光学媒質17とを備え、高調波のレーザパワーを出力する出力安定化短波長光源において、非線形光学媒質17で波長変換され出力される高調波のうちレーザ媒質16に発生する高調波を抽出する高調波抽出手段19と、この高調波抽出手段19により抽出された光強度を計測する受光素子20と、この受光素子20からの電気信号の変化に対応して励起用半導体レーザ14の注入電流を制御する注入電流制御手段21とを設けた。
請求項（抜粋）：
少なくとも励起用半導体レーザと、レーザ媒質と、非線形光学媒質とを備え、高調波のレーザパワーを出力する出力安定化短波長光源において、前記非線形光学媒質で波長変換され出力される高調波のうち前記レーザ媒質に発生する高調波を抽出する高調波抽出手段と、この高調波抽出手段により抽出された光強度を計測する受光素子と、この受光素子からの電気信号の変化に対応して前記励起用半導体レーザの注入電流を制御する注入電流制御手段とを設けたことを特徴とする出力安定化短波長光源。
IPC (2件)：
引用特許：
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