位置検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-185837
公開番号（公開出願番号）：特開平10-032158
出願日： 1996年07月16日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】【課題】露光装置等で位置合わせマーク信号波形が左右非対称の場合の位置検出誤差の発生を防止する。【解決手段】位置合わせマークから得られた信号波形において、マーク領域外の信号基底レベルX1〜Xn,Y1〜Ynより近似線L1を求め、また所定の中点算出領域G〜H内の複数スライスレベルにより求める信号波形スロープ部の中点群C1〜Cnの近似線L2を求め、L1とL2の交点Pをマーク位置として検出する。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された位置合わせ用マークのマーク領域外の検出信号より求めた基底レベルの近似線と、前記位置合わせマークからの検出波形を複数のスライスレベルで走査して得られた各スライスレベルによる近似線とを用いて前記位置合わせ用マークの位置を検出することを特徴とする位置検出方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G01B 21/00 , G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 525 W , G01B 21/00 G , G03F 9/00 H

前のページに戻る