特許
J-GLOBAL ID：200903006391734074
誘導結合プラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-222999
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069397
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【構成】出力コイル2は、一端を高周波発生部1に接続され、他端を接地され、その中央部にトーチ管3を内包する。トーチ管3の下部にイグナイタ5の高電圧側電極6と接地側電極7を対向させて配置する。【効果】イグナイタの高電圧側電極に対する接地側電極を設けることにより、イグナイタによる放電が確実に起こるため、点火ミスがなく、安定したプラズマを生成できる。
請求項（抜粋）：
高周波発生部,出力コイル,トーチ管とイグナイタを備えた誘導結合プラズマ発生装置において、前記イグナイタの高電圧側電極と対向して接地側電極を設けることを特徴とする誘導結合プラズマ発生装置。
IPC (5件)：
H05H 1/42
, G01N 21/73
, G01N 27/62
, G01N 27/64
, H05H 1/46
H05H 1/42
, G01N 21/73
, G01N 27/62 B
, G01N 27/64 Z
, H05H 1/46 L
