レーザによる表面付着物の除去方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀田実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-016181
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225300
出願日： 1994年02月10日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】機器自体に損傷を与えることなく表面付着物を除去することができ、除去された付着物がレンズ等に付着しにくく、付着物を効率よく回収することができ、再汚染のおそれが少なく、レーザ光だけでは除去できない表面付着物にも適用できる、レーザによる表面付着物の除去方法及び装置を提供する。【構成】パルスレーザ光1を発生させるレーザ発振器12と、パルスレーザ光を線状焦点2に集光するレンズ系14と、線状焦点に対して直交する方向に表面付着物3を相対移動させてレーザ光を表面付着物に照射する移動装置16とを備え、これにより、表面付着物をアブレーションにより除去する。レーザ発振器はCO2 レーザ発振器であり、パルスレーザ光は約1000ppsの高繰り返しパルス光である。また、レンズ系は、円筒面を有するシリンドリカルレンズである。

請求項（抜粋）：

パルスレーザ光を線状焦点に集光し、該線状焦点に対して直交する方向に表面付着物を相対移動させてレーザ光を表面付着物に照射し、これにより、表面付着物をアブレーションにより除去することを特徴とするレーザによる表面付着物の除去方法。

IPC (5件)：

G21F 9/28 551 , G21F 9/28 ZAB , H01S 3/00 , B09B 3/00 ZAB , B09B 3/00

FI (2件)：

B09B 3/00 ZAB , B09B 3/00 303 N

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-168400
特開昭58-187898
特開平4-109200

前のページに戻る