特許

J-GLOBAL ID：200903006400820795

固体撮像素子

発明者： 青木 徹郎 ,  小山 英嗣 ,  馬場 一郎
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-127250
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326913
出願日： 1992年05月20日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：

【要約】【目的】 固体撮像素子の性能向上を図るとともに、高集積化に対応できるようにする。【構成】 半導体基板の表面に、互いに異なる導電層からなり水平方向に延びる第1の転送電極1,1,...および第2の転送電極2,2,...を、垂直方向に所定のピッチで備える。第1の転送電極1と第2の転送電極1とのパターンの隙間に入射光を信号電荷に変換する光電変換部3を備える。第1の転送電極1,第2の転送電極2は、それぞれ水平方向に延びる連結部11,21と、この連結部11,21に対して斜め方向に延びるゲート部12,22とが、交互に連なって水平方向に蛇行して延びるパターンをなす。隣接する第1の転送電極1と第2の転送電極2のゲート部12,22は、垂直方向に交互に重なって連なる。

請求項（抜粋）：

半導体基板の表面に、一方向に延びる第1の転送電極および第2の転送電極を、上記一方向に垂直な方向に所定のピッチで備えるとともに、上記第1の転送電極と第2の転送電極とのパターンの隙間に入射光を信号電荷に変換する光電変換部を備える固体撮像素子であって、上記第1の転送電極は、上記一方向に延びる連結部と、この連結部に対して斜め方向に延びるゲート部とが、交互に連なって上記一方向に蛇行して延びるパターンをなす一方、上記第2の転送電極は、上記第1の転送電極の連結部に略重なって上記一方向に延びる連結部と、上記第1の転送電極のゲート部と対称に斜め方向に延びるゲート部とが、交互に連なって上記一方向に蛇行して延びるパターンをなし、隣接する上記第1の転送電極と第2の転送電極のゲート部は、上記一方向に垂直な方向に交互に重なって連なって、上記光電変換部が発生した信号電荷を上記垂直な方向に蛇行しつつ転送することを特徴とする固体撮像素子。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-187187
  
• 特開昭64-089363
  
• 特開平2-162766
  
• 特開昭61-111578