光学素子の幾何学的または光学的構造の絶対的測定方法および実施装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷照一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-220438
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190885
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】光学素子、例えばレンズまたはこのようなレンズを製造するための型の幾何学的または光学的構造を絶対的に測定する。【構成】光学素子4を既知の波面を有する入射光によって照射するステップと、該光学素子4における反射または該光学素子の透過後に、前記光の波面スロープのマップを与えられた面で測定装置2によって測定するステップと、スロープマップの前記測定から計算手段3を用い少なくとも1つの計算手続きの適用によって該光学素子の幾何学的または光学的構造を導き出すステップとからなる。

請求項（抜粋）：

光学素子の幾何学的または光学的構造の絶対的測定方法であって、前記光学素子を既知の波面を有する入射光によって照射するステップと、該光学素子における反射または該光学素子の透過後に、前記光の波面スロープのマップを与えられた面で測定するステップと、該光学素子の幾何学的または光学的構造をスロープマップの前記測定から少なくとも1つの計算手続きの適用によって導き出すステップとからなる方法。

IPC (2件)：

G01M 11/00 , G01B 11/24

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開昭63-275909
特開昭63-275909
特開昭63-048407

全件表示

前のページに戻る