特許

J-GLOBAL ID：200903006405976084

カンチレバー型プローブ、それによって構成したマルチ化プローブおよび走査型プローブ顕微鏡

発明者： 山崎 剛生 ,  島田 康弘
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-148399
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326350
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ΔR/R0の値が大きく高感度で測定することが可能なカンチレバー型プローブ、それによって構成したマルチ化プローブおよび走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、薄膜カンチレバーと、該薄膜カンチレバーの支持部材と、該薄膜カンチレバーから該支持部材にわたってその表面近傍に形成されているピエゾ抵抗体と、該ピエゾ抵抗体に電気的に接続された電極を備えたカンチレバー型プローブにおいて、応力の作用する部分に形成されているピエゾ抵抗体の膜厚が、それよりも応力が作用しない部分に形成されているピエゾ抵抗体の膜厚より、薄く形成されていることを特徴とするものであり、また、上記カンチレバー型プローブによってマルチ化プローブおよび走査型プローブ顕微鏡を構成したことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

薄膜カンチレバーと、該薄膜カンチレバーの支持部材と、該薄膜カンチレバーから該支持部材にわたってその表面近傍に形成されているピエゾ抵抗体と、該ピエゾ抵抗体に電気的に接続された電極を備えたカンチレバー型プローブにおいて、応力の作用する部分に形成されているピエゾ抵抗体の膜厚が、それよりも応力が作用しない部分に形成されているピエゾ抵抗体の膜厚より、薄く形成されていることを特徴とするカンチレバー型プローブ。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01L 1/18 ,  G02B 21/00

FI (3件)：

G01N 37/00 G ,  G01L 1/18 ,  G02B 21/00