特許

J-GLOBAL ID：200903006420506116

移動式プローバ機構

発明者： 蔭山 光明
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-229163
公開番号（公開出願番号）：特開平6-058978
出願日： 1992年08月05日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 プリント基板に対して小数のプローブピンpを有するピンヘッドを移動して、配線パターンの任意の格子点を検査できる移動式プローバ機構を提供する。【構成】 配線パターンの格子点に対する1個のプローブピンpを有する1ピンヘッド4と、数個ないしは十数個の格子点に対応する小数のプローブピンpを有する多ピンヘッド5とを具備し、これらを独立にX,Y方向に移動して、配線パターンの任意に指定された格子点の位置に停止する、それぞれ2組のX移動機構32.33 とY移動機構35,36 、および停止した1ピンヘッドと多ピンヘッドとを独立に下降して、それぞれのプローブピンを指定された格子点に押接する2組のZ移動機構37,38 とにより構成される。【効果】 各ピンヘッド4,5は小数のプローブピンpにより経済的に構成され、保全作業も容易であるなどの利点があり、プリント基板の特定の格子点に対する検査に寄与する。

請求項（抜粋）：

異なるサイズの各種のプリント基板を、それぞれ位置決めして載置する載置台と、該プリント基板の配線パターンの、1個の格子点に対する1個のプローブピンを有する1ピンヘッド、および数個ないしは十数個の格子点に対応する小数のプローブピンを有する多ピンヘッドとを具備し、制御部の制御により、該1ピンヘッドと多ピンヘッドとを独立にX,Y方向に移動して、前記配線パターンの任意に指定された格子点の位置に停止する2組のXY移動機構と、該停止した1ピンヘッドと多ピンヘッドとを独立に下降して、それぞれのプローブピンを該指定された格子点に押接する2組のZ移動機構とにより構成されたことを特徴とする、移動式プローバ機構。

IPC (5件)：

G01R 31/02 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66 ,  H05K 3/00