蛍光X線分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-237506
公開番号（公開出願番号）：特開平6-088791
出願日： 1992年09月07日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】全反射蛍光X線分析装置に関し,広い水平放射角を有するSOR光を水平に偏光する垂直帯状のX線ビームに変形することを目的とする。【構成】水平面内に発散して放射されるSOR光1を励起用X線ビーム源とし,X線ビーム4を試料3の垂直に置かれた表面に全反射する角度で入射する蛍光X線分析装置において,水平面内に発散する該SOR光1を反射して該試料3表面又はその近傍において垂直に発散する該X線ビーム4に変換するための,光軸を該SOR光1の発光源からずらして水平に配設されたトロイダル鏡2を有するように構成する。

請求項（抜粋）：

水平面内に発散して放射されるSOR光(1)(シンクロトロン軌道放射光)を励起用X線ビーム源とし,該X線ビーム(4)を試料(3)の垂直に置かれた表面に全反射する角度で入射する蛍光X線分析装置において,水平面内に発散する該SOR光(1)を反射して該試料(3)表面又はその近傍において垂直に発散する該X線ビーム(4)に変換するための,光軸を該SOR光(1)の発光源からずらして水平に配設されたトロイダル鏡(2)を有することを特徴とする蛍光X線分析装置。

前のページに戻る