特許
J-GLOBAL ID:200903006437388907
液晶表示素子の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
須山 佐一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-162397
公開番号(公開出願番号):特開平7-020415
出願日: 1993年06月30日
公開日(公表日): 1995年01月24日
要約:
【要約】【目的】 間隙材の配置の不均一に起因した液晶表示素子のセルギャップの不均一の発生を抑制して表示むらがなく高い表示品質を実現した液晶表示素子の製造方法を提供する。【構成】 チャンバ1の側壁にはエア導入口7が穿設されている。このエア導入口7は、チャンバ1の外部からドライエアを導入するためのものである。そして外部からエア導入口7を介して湿度40%以下の空気をチャンバ1に導入する。また、チャンバ1の側面にはヒータ9が配設されており、このヒータにより熱をチャンバ1に供給して、チャンバ1の雰囲気11の温度を上昇させ相対湿度を下げて40%以下に保つ。このようにして間隙材15の散布雰囲気11を湿度40%以下に保つことにより、間隙材15の散布むらを解消することができる。
請求項(抜粋):
第1の電極が列設された第1の基板および第2の電極が列設された第2の基板のうち少なくともいずれか一方の表面に間隙材を散布し、前記第1の基板および第2の基板を周囲を封止して第1の電極と第2の電極とが対向するように対向配置し、前記間隙材によって形成された間隙に液晶組成物を封入して液晶表示素子を製造するにあたり、前記間隙材を湿度40%以下の作業雰囲気中で前記基板上に散布することを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
IPC (3件):
G02F 1/13 101
, G02F 1/1339 500
, G09F 9/00
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開昭55-069124
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特開昭63-089890
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特開昭60-133421
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スペーサー散布装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-348701
出願人:株式会社半導体エネルギー研究所
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特開昭63-077026
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