特許

J-GLOBAL ID：200903006439263559

研磨皿工具のツルーイング方法

発明者： 村上 敏貴 ,  須藤 光義
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-068920
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249695
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】 ツルーイング皿工具の摩耗による形状精度劣化を防止し、ツルーイング作業を再現性良く、短時間に行うことが可能な、研磨皿工具のツルーイング方法を提供する。【解決手段】 本発明の研磨皿工具のツルーイング方法は、遊離砥粒を含む研磨剤を介して被加工物に押し当てられる研磨皿工具105をツルーイング皿工具101と摺り合わせすることにより研磨皿工具105の研磨面を調整する方法である。研磨皿工具105とツルーイング皿工具101との間に純水を供給しながらツルーイングすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

遊離砥粒を含む研磨剤を介して被加工物に押し当てられる研磨皿工具をツルーイング皿工具と摺り合わせ(ツルーイング)することにより該研磨皿工具の研磨面を調整する方法であって;研磨皿工具とツルーイング皿工具との間に、実質的に液体のみからなる加工液を供給しながらツルーイングすることを特徴とする研磨皿工具のツルーイング方法。

IPC (3件)：

B24B 13/00 ,  B24B 13/02 ,  B24B 53/00

FI (3件)：

B24B 13/00 C ,  B24B 13/02 B ,  B24B 53/00 J