特許
J-GLOBAL ID：200903006440524714
レーザを用いたガスの直接分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-156243
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002605
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 発電プラント等における被径側部の成分組成、プラズマ温度及び微量成分濃度をオンラインで検出できるレーザを用いたガスの直接分析方法を提供するにある。【解決手段】 各種プラントの配管等1に光学窓6を設けると共にプラズマ用レーザをレンズ4を通してミラー15で反射させた後、前記光学窓6より投射して、前記配管等1内の被径側部2に集光し、前記被計測部2での気体及び固体をプラズマ化する一方、プラズマ発光並びに前記被計測部が発する蛍光をミラー15、分光器11を介してCCDカメラ12にて検出し、検出されたプラズマ信号により、前記被径側部の成分組成、プラズマ温度及び微量成分濃度を検出することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
各種プラントの配管等に光学窓を設けると共にプラズマ用レーザをレンズを通してミラーで反射させた後、前記光学窓より投射して、前記配管等内の被計測部に集光し、前記被計測部での気体及び固体をプラズマ化する一方、プラズマ発光並びに前記被計測部が発する蛍光をミラー、分光器を介してCCDカメラにて検出し、検出されたプラズマ信号により、前記被計測部の成分組成、プラズマ温度及び微量成分濃度を検出することを特徴とするレーザを用いたガスの直接分析方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/63 Z
, G01N 21/64 Z
