特許
J-GLOBAL ID：200903006440755589
モノリシック電圧制御発振器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168335
公開番号（公開出願番号）：特開平8-340213
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【目的】異なるエピタキシャル構造のショットキーダイオードと電界効果トランジスタを集積化したモノリシック電圧制御発振器において、エピタキシャル層の数を減少させ、コストの増大やウェーハ面内での特性の均一性の劣化を低減する。【構成】電界効果トランジスタ11とショットキーダイオード12とでコンタクト層4を共有したことを特徴とするモノリシック電圧制御発振器。これにより、エピタキシャル層の数を減少させ、コストの増大やウェーハ面内での特性の均一性の劣化を低減することができる。
請求項（抜粋）：
半絶縁性基板上に配設され、活性層とコンタクト層とを含み、ゲート電極を前記活性層上に、ソース及びドレイン電極を前記コンタクト層上にそれぞれ備えた電界効果トランジスタと、前記電界効果トランジスタが配設される前記半絶縁性基板と同一の半絶縁性基板上に配設され、ショットキーダイオード用コンタクト層とショットキーダイオード用活性層とを含み、アノード電極を前記ショットキーダイオード用コンタクト層上に、カソード電極を前記ショットキーダイオード用活性層上にそれぞれ備えたショットキーダイオードと、所定の伝送線路及びキャパシタ等からなる受動素子と、を含み、前記電界効果トランジスタと前記ショットキーダイオードとが前記コンタクト層を共有したことを特徴とするモノリシック型電圧制御発振器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03B 5/18 C
, H01L 29/93 S
