プリズム破損防止機構を備える全反射吸収スペクトル測定装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-330001
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147379
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、プリズムと被測定物間の距離を装置が検知し、その検知状態によってプリズムの破損を招くような動作を禁止するプリズム破損防止機構を備えた全反射吸収スペクトル測定装置を提供することである。【解決手段】前記目的を達成するために本発明は、全反射プリズムと、被測定物を載置するステージ6と、プリズムに対してステージ6を相対的に駆動させ得る駆動機構8と、駆動を操作するための操作手段10と、ステージ6上に載置された被測定物と全反射プリズムとの間の近接状態を検知する検知手段12とを有する全反射吸収スペクトル測定装置2において、検知手段12によって被測定物と全反射プリズムが密接状態にあると検知された場合、全反射プリズムを破損する危険のある駆動を、駆動機構を止めることによって禁止するプリズム破損防止機構を備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

全反射プリズムと、被測定物を載置するステージと、前記全反射プリズムに対して前記ステージをX-Y軸方向またはZ軸方向に相対的に駆動させ得る駆動機構と、前記ステージと前記全反射プリズムの相対的駆動を操作するための操作手段と、前記ステージ上に載置された被測定物と全反射プリズムとの間の近接状態を検知する検知手段と、を有する全反射吸収スペクトル測定装置において、前記検知手段によって被測定物と全反射プリズムが密接状態にあると検知された場合には、前記全反射プリズムに対して前記ステージがステージの水平方向、あるいは、被測定物と全反射プリズムとの距離を縮めようとする方向に駆動しようとすると、駆動機構を止めることによって前記動作を禁止するプリズム破損防止機構を備えたことを特徴とする全反射吸収スペクトル測定装置。

Fターム (5件)：

2H052AB06 , 2H052AD20 , 2H052AF07 , 2H052AF14 , 2H052AF21

引用特許：

審査官引用 (6件)

顕微ATRマッピング測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-037056 出願人：株式会社島津製作所
顕微鏡装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-084450 出願人：株式会社ニコン
走査型トンネル顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-177967 出願人：株式会社日立製作所

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