特許
J-GLOBAL ID：200903006442297995
温度測定用プローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾身 祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-023340
公開番号（公開出願番号）：特開平8-193891
出願日： 1995年01月19日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 高温の被測定物の温度変化を応答性よく検出できるようにする。温度測定の空間分解能を向上させる。【構成】 アルミナからなる絶縁性基板11上に、白金(Pt)(87wt%)-ロジウム(Rh)(13wt%)合金粉末のペーストを印刷し、焼成して第1金属膜12を形成する。同様に、白金ペーストを印刷し、焼成して第2金属膜13を形成する。熱電対の接合部付近を熱輻射透過性の高いシリコン酸化膜14で被覆し、それ以外の部分を熱輻射透過性の悪いアルミナ膜15で被覆する。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に、一部の領域で互いに積層されて熱電対を形成している2種の金属膜が形成され、前記金属膜の積層部およびその近傍が熱輻射透過性の高い絶縁性材料からなる被膜によって被覆され、かつ、上記以外の金属膜部分が熱輻射透過性の悪い絶縁性材料からなる被膜によって被覆されていることを特徴とする温度測定用プローブ。
IPC (2件)：
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