特許
J-GLOBAL ID:200903006451362040

全反射測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 祐司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-142134
公開番号(公開出願番号):特開平6-058869
出願日: 1992年05月06日
公開日(公表日): 1994年03月04日
要約:
【要約】【構成】 カセグレン主鏡122及びカセグレン副鏡124を有し、前記副鏡124、主鏡122の順に反射された光を、低面が球面で先端が平頭な円錐状に形成された全反射プリズム112に入射し、被測定試料面に当接している平頭面上に集光させ、その平頭面によって全反射した光を主鏡122、副鏡124の順に反射させて得る全反射測定装置。【効果】 微量な被測定試料の全反射測定を簡易に行うことが可能となる。
請求項(抜粋):
カセグレン主鏡及びカセグレン副鏡を有し、前記副鏡、主鏡の順に反射された光を被測定試料上に集光し、その全反射光を主鏡、副鏡の順に反射させて得るカセグレン鏡と、カセグレン副鏡の下部に配置され、入光及び出光面が球面状に、且つ先端が平頭円錐状に形成され、該平頭面が被測定試料に当接されるとともに、前記カセグレン鏡の集光位置となるように配置された全反射プリズムと、を備えたことを特徴とする全反射測定装置。
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開平1-196540
  • 特開平1-138443
  • 特開昭62-220834
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