特許

J-GLOBAL ID：200903006452293882

イオン加速装置

発明者： 岡村 昌宏 ,  竹内 猛 ,  服部 俊幸
出願人/特許権者： 理化学研究所
代理人 (1件)： 高橋 陽介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-135357
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329600
出願日： 2001年05月02日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】 主として、構成を大幅に単純化し、加速できるイオンの量が飛躍的に増大したイオン加速装置を提供する。【解決手段】 プラズマ発生ターゲット12と、プラズマ発生ターゲット12から発生したプラズマよりイオンを引き出すための真空容器16と、イオン線形加速器30とが直列に接続され、真空容器16は、イオン線形加速器30のイオン入射口近傍に取り付けられ、かつ、真空容器16を所望の電圧に昇圧する高圧電源とを備え、真空容器16からイオン線形加速器30に、直接、イオンを入射するように構成した。

請求項（抜粋）：

プラズマ発生源と、前記プラズマ発生源から発生したプラズマよりイオンを引き出すための真空容器と、イオン線形加速器とが直列に接続され、前記真空容器は、該イオン線形加速器のイオン入射口近傍に取り付けられ、かつ、前記真空容器を所望の電圧に昇圧する高圧電源を備え、前記真空容器から前記イオン線形加速器に、直接、イオンを入射するようにしたことを特徴とするイオン加速装置。

IPC (6件)：

H05H 9/00 ,  H01J 27/02 ,  H01J 27/24 ,  H01J 37/08 ,  H01L 21/265 603 ,  H05H 1/24

FI (6件)：

H05H 9/00 A ,  H01J 27/02 ,  H01J 27/24 ,  H01J 37/08 ,  H01L 21/265 603 A ,  H05H 1/24

Fターム (7件)：

2G085AA06 ,  2G085BA13 ,  2G085EA07 ,  2G085EA08 ,  5C030DD08 ,  5C030DE01 ,  5C030DG09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-284400
  
• 特開昭60-146438