特許

J-GLOBAL ID：200903006455347541

トンネル電流発生用三次元変位素子、該トンネル電流発生用三次元変位素子を用いたマルチ探針ユニット、情報処理装置および情報処理方法

発明者： 黒田 亮 ,  八木 隆行 ,  新庄 克彦 ,  酒井 邦裕 ,  畑中 勝則
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-209101
公開番号（公開出願番号）：特開平6-060445
出願日： 1992年08月05日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 構造が簡単で、しかも探針の位置ずれを容易に補正可能とする。【構成】 フレーム100の中空部102には、マイクロステージ101が、その相対する部位に設けられた4つの弾性部材111、112、113、114により弾性的に支持される。マイクロステージ101および各弾性部材111、112、113、114は、それぞれ薄膜から一体に形成されたものである。マイクロステージ101の一面の中央部には、第1の配線が接続されて、先端が尖鋭な探針103が設けられている。マイクロステージ101の一面はグラウンド電極106となっており、フレーム100の、マイクロステージ101のx方向側の端部およびy方向側の端部にそれぞれ対向する部位には、それぞれx方向静電アクチュエータ電極107およびy方向静電アクチュエータ電極108が設けられる。

請求項（抜粋）：

一面に、先端が尖鋭な探針が設けられた、薄膜からなる可動部材と、前記可動部材を、支持部材に対して前記一面と平行方向および垂直方向に移動可能に支持するための、前記可動部材の相対する部位にそれぞれ前記可動部材と一体に形成された、前記薄膜からなる複数個の弾性部材と、前記可動部材を、前記一面と平行な少なくとも一方向に駆動するための静電駆動手段とを有することを特徴とするトンネル電流発生用三次元変位素子。

IPC (3件)：

G11B 9/00 ,  H01J 37/28 ,  H01L 27/10 451

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-162229
  
• 特開平4-205828
  
• 特開平3-173957
  
• 特開平2-050333