特許
J-GLOBAL ID：200903006465253090
近接場光学顕微鏡などに使用されるプローブ及び その製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-268999
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117840
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 近接場光学顕微鏡などに使用されるプローブ【構成】 円柱状の基礎部(1) と基礎部の断面形状と同一の底面を有する円錐体(2) とからなるプローブ。このプローブは、例えば、酸化ゲルマニウムを20 mol%未満添加した酸化硅素コアと純酸化硅素クラッドからなる光ファイバーを、「フッ酸10〜30重量%、フッ化アンモニウム 5〜20重量%及び水40〜85重量%からなるエッチング液」で化学エッチングすることにより得られる。【効果】 基礎部に肩がないので、段差のある試料でも、肩が段差に衝突することがなく、そのため、測定又は観察が可能。
請求項（抜粋）：
円柱状の基礎部と該基礎部の断面形状と同一の底面を有する円錐体とからなるプローブ。
IPC (2件)：
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