特許
J-GLOBAL ID：200903006466403095
グリーンシート積層体の異物除去装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 剛宏 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-064159
公開番号（公開出願番号）：特開平5-261718
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】グリーンシート積層体を変形させることなく異物を除去することができ、高率で良品を得ることができるグリーンシート積層体の異物除去装置を提供する。【構成】異物除去装置1は、PGA用グリーンシート積層体(Pin GridArray)2を支持して搬送するコンベア3と、コンベア3にて搬送されるPGA用グリーンシート積層体2に対向するように設けられた洗浄水吐出装置4と、洗浄水吐出装置4の下流に隣接して設けられた高圧エア吐出装置5、低圧エア吐出装置6及び熱風吐出装置7とを有する。洗浄水吐出装置4及び高圧エア吐出装置5は、枠体11a、11bにコンベア3の搬送方向と直交するように軸支して取着されており、図示しない駆動装置により、コンベア3の搬送方向に沿って前後に揺動される。洗浄水吐出装置4は、洗浄水を2〜8kg/cm2 の圧力で吐出する。高圧エア吐出装置5、低圧エア吐出装置6及び熱風吐出装置7はPGA用グリーンシート積層体2にエアを吹きつけて乾燥する。
請求項（抜粋）：
グリーンシート積層体を支持して搬送する搬送手段と、該搬送手段に支持されるグリーンシート積層体と対向して揺動自在に設けられ洗浄水を吐出する水洗手段と、該搬送手段の搬送方向に沿って該水洗手段の下流に隣接して設けられ水洗後のグリーンシート積層体を乾燥する乾燥手段とを有することを特徴とするグリーンシート積層体の異物除去装置。
IPC (4件)：
B28B 11/22
, B08B 3/02
, F26B 13/10
, H05K 1/03
