特許
J-GLOBAL ID：200903006470132152
テープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置における撮像手段の位置合わせ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-052327
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249662
出願日： 1999年03月01日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 複数の撮像手段を有する場合に、それらの撮像手段の位置合わせを容易に行うことができるテープキャリア欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 制御装置70は、検査を開始する前に、テープキャリア100のフレームのピッチ間隔に基づき、各X-Yステージ33a,33b,42の移動を制御し、予めテープキャリア100の搬送経路に沿っての各カメラ31a,31b,44の光軸間の距離がフレームのピッチ間隔の整数倍となるようにカメラ31a,31b,44の位置を調整する。その後、制御装置70は、例えばカメラ31bの光軸がテープキャリア100上の所定の基準位置に一致するようにカメラ31bの位置合わせが手動で行われたときに、カメラ31bで得られた画像に基づきカメラ31bの光軸の移動量を算出し、その移動量に基づきX-Yステージ33a,42の移動を制御して、カメラ31a,44の位置合わせを行う。
請求項（抜粋）：
テープキャリアの搬送経路に沿って設けられた、前記テープキャリアを撮像する複数の撮像手段と、前記各撮像手段毎に設けられた、前記各撮像手段を前記テープキャリアの表面に平行な平面内で移動する複数の移動手段と、前記テープキャリアのフレームのピッチ間隔を入力するための入力手段と、所定の前記撮像手段で得られた画像に基づいて前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を検査する欠陥検査手段と、欠陥の検査を行う前に、前記入力手段から入力された前記テープキャリアのフレームのピッチ間隔に基づいて、前記複数の移動手段の移動を制御して、予め前記搬送経路に沿っての前記各撮像手段の光軸間の距離が前記テープキャリアのフレームのピッチ間隔の整数倍となるように前記複数の撮像手段の位置の調整を行い、且つ、一の前記撮像手段の光軸が前記テープキャリア上の所定の基準位置に一致するように前記一の撮像手段を移動するための一の前記移動手段を手動で移動して前記一の撮像手段の位置合わせが行われたときに、前記一の撮像手段で得られた画像に基づいて、位置合わせ前の前記一の撮像手段の光軸の位置から前記基準位置までの移動量を算出し、その算出した前記移動量に基づいて他の前記移動手段の移動を制御することにより、他の前記撮像手段の位置合わせを行う制御手段と、を具備することを特徴とするテープキャリア欠陥検査装置。
Fターム (14件)：
2G051AA41
, 2G051AB02
, 2G051AB11
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CD07
, 2G051DA07
, 2G051DA09
, 2G051DA15
, 2G051EA11
, 2G051EB01
, 2G051ED11
, 2G051ED23
, 2G051FA01
