特許
J-GLOBAL ID：200903006474549139

非接触型静電吸着装置

発明者：
北林 徹夫

北林 徹夫 について

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米澤 順次

米澤 順次 について

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津田 拓真

津田 拓真 について


出願人/特許権者：
東陶機器株式会社

東陶機器株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-152153
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340640
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 被吸着体が静電チャック誘電体と直接接触せずに、静電力により吸着できる新しい類型の静電チャックを提供する。【解決手段】 平面状の電極と、電気的接続手段と吸着物を載置する平滑な表面を有する誘電体から構成される静電チャックにおいて、誘電体と異なる材料であってその体積抵抗率が誘電体の体積抵抗率より大きい材料で構成された絶縁性突起を誘電体表面上に設けることとした。
請求項（抜粋）：
電極を内包し、少なくとも電気的接続手段と、吸着物を載置する平滑な表面を有する誘電体から構成される静電チャックにおいて、該吸着物を載置する平滑な表面に、体積抵抗率が前記誘電体の体積抵抗率より大きい材料で形成された絶縁性突起が設けられたことを特徴とする静電チャック
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00
FI (3件)：
H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D
Fターム (7件)：
3C016AA01 ,  3C016BA02 ,  3C016EA01 ,  3C016GA10 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031PA26
引用特許：
審査官引用 (6件)
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