特許

J-GLOBAL ID：200903006478579156

基板乾燥装置

発明者： 平塚 豊 ,  藤川 伸之
出願人/特許権者： 株式会社ダン科学
代理人 (1件)： 中村 純之助 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-306735
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145103
出願日： 1997年11月10日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 引火の危険をほとんど解消し、基板に水が付着するのを防止し、製造コストを安価にする。【解決手段】 乾燥槽1内に第1の細孔3を有する多孔板2を設け、多孔板2に受台4、5を取り付け、乾燥槽1の下部に配管13を接続し、配管13にポンプ14を接続し、純水供給管17に温水加熱槽18を接続し、温水加熱槽18の下部と配管13とを接続する配管21を設け、IPA供給管26および窒素ガス供給管27を蒸発器28に接続し、乾燥槽1の上方に2本のガス吹出管32を設け、蒸発器28とガス吹出管32とを接続する配管31を設け、ガス吹出管32に複数の吹出口41を設け、ブロワ33に給気ダクト34を接続し、給気ダクト34に精密除塵フィルタ35を設け、排気ポンプ(図示せず)に接続された排気ダクト36を設ける。

請求項（抜粋）：

乾燥槽と、上記乾燥槽内に設けられた受台と、上記乾燥槽内に純水を供給する純水供給手段と、上記乾燥槽から純水を排水する純水排水手段と、上記乾燥槽の上方に設けられたガス吹出管と、上記ガス吹出管の上方にエアカーテンを形成するエアカーテン形成手段とを具備することを特徴とする基板乾燥装置。