精密圧力制御弁

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山田恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-165350
公開番号（公開出願番号）：特開平8-030332
出願日： 1994年07月18日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】高い応答性や一定の特性を獲得し得るようにする。【構成】制御用空間38を二つのダイアフラム45,46により均圧室47と大気室48と制御室49に仕切って、制御室49に供給された制御用エア61の圧力と均圧室47に流入する出口部33側のガス73との釣合いにより、弁棒57を介して弁体43の開度を決定し、出口部33側の圧力が一定に制御されるようにする。この際、制御圧力を、空気圧で設定することにより、ガス73の流量変化に対して高い応答性を得られるようにする。又、一定圧力の制御用エア61により、ガス73の流量や入口部32側の圧力に拘らず一定の特性を得て、高い制御精度が得られるようにする。更に、均圧室47と制御室49との間に大気室48を形成して、ダイアフラム45又は46が破損しても、制御用エア61とガス73が混合するのを防止させる。

請求項（抜粋）：

弁本体の内部に、入口部及び出口部を有するガス通路と、制御用空間とを設け、ガス通路の途中に弁座及び弁体から成るノズル部を形成すると共に、制御用空間を二つのダイアフラムを用いて、ガス通路に対し離れた側から順に、制御用エアが供給される制御室と、大気に開放される大気室と、ガス通路の出口部側へ連通される均圧室の三つの室に仕切り、ガス通路の入口部側と均圧室との間に貫通部を形成すると共に、貫通部にバランスダイアフラムを取付け、弁体と各ダイアフラムとの間を弁棒で連結したことを特徴とする精密圧力制御弁。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭49-034628
特開昭49-034628

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