特許
J-GLOBAL ID：200903006480537266
カセット搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-309811
公開番号（公開出願番号）：特開平7-137807
出願日： 1993年11月16日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：
【要約】【目的】カセット搬送装置に於いて、カセット授受動作での自由度を増大させ、カセット搬送装置の汎用性を増大させる。【構成】複数段のカセット収納棚を有する複数の収納列から構成されるカセットストッカ21とカセットステージ19との間に位置し、前記カセットストッカに対して平行に延びるカセット横行ビーム23を昇降可能に設け、該カセット横行ビームにカセット挿脱ユニット24を横行可能に設け、カセット横行ビームの昇降、カセット挿脱ユニットの横行により、該カセット挿脱ユニットが受載したカセット7をカセットストッカのカセット収納棚の任意の位置に対峙させ、更にカセット挿脱ユニットの動作でカセットストッカに対するカセットの挿入、払出しを行う。
請求項（抜粋）：
複数段のカセット収納棚を有する複数の収納列から構成されるカセットストッカとカセットステージとの間に位置し、前記カセットストッカに対して平行に延びるカセット横行ビームを昇降可能に設け、該カセット横行ビームにカセット挿脱ユニットを横行可能に設け、該カセット挿脱ユニットにより前記カセットステージ及び前記カセットストッカに対してそれぞれカセットの授受可能としたことを特徴とするカセット搬送装置。
IPC (2件)：
B65G 1/04 503
, H01L 21/68
