特許

J-GLOBAL ID：200903006482814348

表面状態判定装置

発明者： 森井 美佳 ,  安尾 浩行
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-229360
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051060
出願日： 1999年08月13日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 一つの光学系を用いることにより装置の小型化および低コスト化を図るとともに、補正処理を省略し、より精度の高い表面状態判定装置を提供する。【解決手段】 表面状態判定装置は、パルスレーザを発光する発光部201と、発光部201からのパルスレーザをスキャンさせるスキャン部301と、反射光を受光する受光部215と、照射点までの距離を測定する距離測定部303と、反射レベルを測定する反射レベル測定部305と、発光部201およびスキャン部301の制御等を行なう制御部307と、対象点までの距離と反射レベルに対する表面状態を記録したデータテーブル311と、距離測定部303および反射レベル測定部305からのデータに基づきデータテーブル311を参照して表面状態を判定する判定処理部309とを含む。

請求項（抜粋）：

パルスレーザを送信する送信手段と、前記送信されたパルスレーザの反射光を受信する受信手段と、前記受信手段による受信結果から対象点までの距離を測定する距離測定手段と、前記受信された反射光の反射レベルを測定するレベル測定手段と、前記測定された距離と前記測定された反射レベルとに基づいて、前記対象点の表面状態を判定する判定手段とを備えた、表面状態判定装置。

IPC (5件)：

G01S 17/88 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/47 ,  G01W 1/00 ,  G08G 1/00

FI (5件)：

G01S 17/88 Z ,  G01B 11/00 B ,  G01N 21/47 B ,  G01W 1/00 J ,  G08G 1/00 J

Fターム (69件)：

2F065AA06 ,  2F065AA25 ,  2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065CC40 ,  2F065DD02 ,  2F065DD04 ,  2F065DD11 ,  2F065EE01 ,  2F065FF12 ,  2F065FF32 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ15 ,  2F065KK02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL15 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ03 ,  2F065RR10 ,  2F065SS03 ,  2F065UU01 ,  2F065UU05 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059BB20 ,  2G059CC20 ,  2G059EE02 ,  2G059FF08 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ15 ,  2G059KK01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10 ,  5H180CC03 ,  5H180CC14 ,  5H180EE11 ,  5J084AA01 ,  5J084AA05 ,  5J084AA14 ,  5J084AA20 ,  5J084AB08 ,  5J084AB20 ,  5J084AC10 ,  5J084AD01 ,  5J084AD03 ,  5J084BA03 ,  5J084BA50 ,  5J084BB02 ,  5J084BB28 ,  5J084CA03 ,  5J084CA23 ,  5J084CA31 ,  5J084CA70 ,  5J084CA77 ,  5J084CA80 ,  5J084EA02 ,  5J084EA29 ,  5J084EA31 ,  5J084FA01