特許
J-GLOBAL ID：200903006483383197
感材吸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-078510
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268524
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 位置ずれを起こすことなく確実に感材を吸着固定でき、しかも軟質感材であっても凹みを生じさせない感材吸着装置を提供することである。【解決手段】 テーブル302上に感材が供給されると、制御部314は、まず電磁弁311を開く。従って、真空ポンプ310は、透孔306からのみ空気を引き抜く。ここで、感材は、溝305の開放された上面の全体を覆っているので、溝305の内部は、ほぼ閉塞された空間となり、真空ポンプ310による感材の吸着力は強い。従って、感材は、頂部Oを原点として位置決めされた状態で強く固定される。その後、制御部314は、電磁弁311を開いたまま、電磁弁312を開く。そのため、透孔308からも空気が吸引されるが、各溝307は、その上面の一部が露出しており、この部分でリークが生じる。従って、各溝307での吸着力は比較的弱い。また、各溝307でのリークの影響により、溝305内の真空度が落ち、溝305での吸引力も当初に比べて落ちる。
請求項（抜粋）：
露光装置内のテーブルに供給された感材を所定の位置で吸着固定するための感材吸着装置であって、前記所定の位置の基準となる点の近傍である前記テーブル上の第1の領域において、前記感材を相対的に強い力で吸着する第1の吸着手段と、前記第1の領域以外の前記テーブル上の第2の領域において、前記感材を相対的に弱い力で吸着する第2の吸着手段とを備え、前記第1の吸着手段を作動後、前記第2の吸着手段を時間的にずらして作動させ、前記第1の吸着手段の吸着力は、前記第2の吸着手段の作動によって所望の大きさまで減退することを特徴とする、感材吸着装置。
引用特許：
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