プロ-ブ針およびスプリングプロ-ブ用バネの製造方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：有吉教晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143970
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337575
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】本発明は液晶パネルやIC、プリント基板などの検査等に使用されるプロ-ブ針において、これら微小ピッチの電極層やマトリックス電極層に適したプロ-ブ針およびスプリングプロ-ブ用バネの製造方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明は、電着金属板1にレジスト2をコ-ティングし、該レジスト2面に任意の形状に指定されたマスク3をセットして焼き付け・現像処理を行い不必要なレジスト2を除去し、その上にメッキ成長により任意厚さのプロ-ブ針5を形成し、該プロ-ブ針5を電着金属板1より取り外す。

請求項（抜粋）：

電着金属板に任意厚さのレジストをコ-ティングし、該レジスト面に、任意の形状に指定されたマスクをセットして焼き付け・現像処理を行い不必要なレジストを取り除き、必要な部分のレジストをアニ-ル処理をして銅メッキによる下地処理を施し、その上にメッキ成長により任意厚さのプロ-ブ針を形成し、不必要となったレジストを除去し、上記電着金属板より銅下地のみを溶かしてプロ-ブ針を取り外すことを特徴とするプロ-ブ針の製造方法。

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