特許

J-GLOBAL ID：200903006484199730

カセット保持装置、基板供給装置および基板供給方法

発明者： 松村 吉雄
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-066819
公開番号（公開出願番号）：特開平9-255157
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】【課題】 基板のたわみ量を減少し大型基板または薄型基板を収納可能にしつつ、基板カセットに収納される複数枚の基板の整列が簡易に行える基板カセット保持装置を提供する。【解決手段】 基板カセット保持装置10において、カセット載置台11および載置台傾斜手段12を備える。カセット載置台11は複数枚の基板15を収納する基板カセット14を載置保持する。載置台傾斜手段はカセット載置台11を傾斜させ、このカセット載置台11に載置保持された基板カセット14に収納される複数枚の基板15の表面を傾斜した状態に維持する。

請求項（抜粋）：

複数の基板が収納されたカセットを保持するカセット保持装置において、カセットに収納された基板の表面に沿った方向が鉛直方向とほぼ平行となるように、かつカセットから基板が排出される開口である基板排出口を上方に向けた状態で、カセットが載置される載置台と、カセットに収納された基板が、カセットの内部から前記基板排出口に向かう方向に対して前後方向に傾斜するように、カセットが載置されたカセット載置台を傾斜させる第1傾斜手段と、カセットに収納された基板が、カセットの内部から前記基板排出口に向かう方向に対して左右方向に傾斜するように、カセットが載置されたカセット載置台を傾斜させる第2傾斜手段と、を有することを特徴とするカセット保持装置。

IPC (2件)：

B65G 59/08 ,  H05K 13/02

FI (2件)：

B65G 59/08 ,  H05K 13/02 U

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-111134
  
• 特開昭63-072137
  
• 特開平4-246044