特許

J-GLOBAL ID：200903006485955643

マクロ検査用ホルダ機構

発明者： 西澤 誠 ,  小澤 津登務 ,  藤崎 暢夫 ,  佐藤 靖
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-325856
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194312
出願日： 2000年10月25日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】揺動の自由度を高めマクロ観察の精度を向上させ、かつコンパクトで操作性に優れたものとすること。【解決手段】 マクロ検査用ホルダ機構5をミクロ検査用ホルダとは別体に構成し、このマクロ検査用ホルダ14を、水平面内で例えばX方向又はY方向に移動させ、オペレータに対して前後方向に揺動、回動及び反転させ、Z方向に昇降させ、さらに当該マクロ検査用ホルダ6のほぼ中心点で所定の角度に回動又は360°回転させる。

請求項（抜粋）：

基板上にマクロ照明光を照射してマクロ観察する際に前記基板を揺動させる機能を備えたマクロ検査用ホルダ機構において、前記基板を保持するマクロ検査用ホルダと、このマクロ検査用ホルダを先端部で回転自在に支持する支持部材と、前記マクロ検査用ホルダを回転駆動する回転駆動機構と、前記支持部材を軸として前記マクロ検査用ホルダを揺動させる揺動機構と、を具備したことを特徴とするマクロ検査用ホルダ機構。

IPC (3件)：

G01N 21/84 ,  G01N 21/958 ,  H05K 3/00

FI (3件)：

G01N 21/84 D ,  G01N 21/958 ,  H05K 3/00 Q