特許

J-GLOBAL ID：200903006500478040

ITO膜除去用組成物及びこれを用いたITO膜除去方法

発明者： 矢島 明政 ,  池田 公彦
出願人/特許権者： 旭電化工業株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-114900
公開番号（公開出願番号）：特開2000-309888
出願日： 1999年04月22日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】 ITO膜を効率的に除去でき、且つ、ITO膜がメタルマスク等の金属上にある場合においても、実用上該金属を腐食させること無くITO膜を効率的に除去することのできるITO膜除去用組成物及びITO膜除去方法の提供。【解決手段】 必須の成分として塩酸0.5〜15重量%;燐酸及びカルボン酸からなる群から選ばれる1種以上の酸0.5〜15重量%;及び界面活性剤0.01〜5重量%を含有する水溶液から成ることを特徴とするITO膜除去用組成物。

請求項（抜粋）：

必須の成分として塩酸0.5〜15重量%;燐酸及びカルボン酸からなる群から選ばれる1種以上の酸0.5〜15重量%;及び界面活性剤0.01〜5重量%を含有する水溶液から成ることを特徴とするITO膜除去用組成物。

IPC (4件)：

C23F 1/00 103 ,  C09K 13/04 101 ,  C09K 13/06 101 ,  C23F 1/44

FI (4件)：

C23F 1/00 103 ,  C09K 13/04 101 ,  C09K 13/06 101 ,  C23F 1/44

Fターム (12件)：

4K057WA01 ,  4K057WA02 ,  4K057WB11 ,  4K057WB15 ,  4K057WE04 ,  4K057WE08 ,  4K057WE11 ,  4K057WE14 ,  4K057WG03 ,  4K057WM03 ,  4K057WM04 ,  4K057WM15