特許

J-GLOBAL ID：200903006500691682

ガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサ

発明者： 杉村 真理子 ,  香田 弘史 ,  寄吉 典子
出願人/特許権者： エフアイエス株式会社
代理人 (1件)： 西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-263721
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075384
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】 微量のガスを高感度に検出することができ、特に呼気中成分の検出のためのガスクロマトグラフに好適に用いられるガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサを提供する。【解決手段】 試料ガスがキャリアガスと混合されて分離カラムに導入された後に分離カラムから導出されたガス中成分を検出するガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサに関する。酸化インジウムを含有する金属酸化物半導体からなる感応素子1を具備する。

請求項（抜粋）：

試料ガスがキャリアガスと混合されて分離カラムに導入された後に分離カラムから導出されたガス中成分を検出するガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサにおいて、酸化インジウムを主成分とする金属酸化物半導体からなる感応素子を具備して成ることを特徴とするガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  G01N 30/64

FI (2件)：

G01N 27/12 C ,  G01N 30/64 A

Fターム (17件)：

2G046AA01 ,  2G046AA05 ,  2G046AA10 ,  2G046AA11 ,  2G046AA19 ,  2G046AA24 ,  2G046AA25 ,  2G046AA26 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BC02 ,  2G046BE02 ,  2G046BE07 ,  2G046EA04 ,  2G046FB02 ,  2G046FE00 ,  2G046FE15