試料の分離装置及び分離方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-316574
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150456
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】内部に多孔質層を有する貼り合わせ基板の分離処理を高い歩留まりで実施するための技術を提供する。【解決手段】この分離装置100は、一対の基板保持部270及び280を備え、該基板保持部270及び280により貼り合わせ基板50を上下から挟むようにして水平に保持して回転させながら、ノズル260からジェットを噴射し、そのジェットを貼り合わせ基板50の多孔質層付近に打ち込むことにより、貼り合わせ基板50をその多孔質層の部分で2枚の基板に分離する。

請求項（抜粋）：

内部に分離用の層を有する板状試料を該分離用の層で分離する分離装置であって、板状試料を略水平な状態で回転させながら保持する保持機構と、前記保持機構に保持された板状試料の分離用の層に向けて流体を噴射し、該流体により該板状試料を該分離用の層で分離するための噴射部と、を備えることを特徴とする分離装置。

IPC (4件)：

H01L 21/306 , H01L 21/02 , H01L 21/304 601 , H01L 27/12

FI (4件)：

H01L 21/306 C , H01L 21/02 B , H01L 21/304 601 S , H01L 27/12 B

Fターム (9件)：

5F043AA02 , 5F043AA09 , 5F043BB02 , 5F043EE03 , 5F043EE07 , 5F043EE08 , 5F043EE35 , 5F043EE36 , 5F043GG10

前のページに戻る