特許

J-GLOBAL ID：200903006511538339

基板移換装置

発明者： 深田 昌生 ,  堀内 光明 ,  永井 博之 ,  門田 隆幸 ,  甲斐 正文 ,  寺田 雅則 ,  春山 光庸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立湘南電子株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-080062
公開番号（公開出願番号）：特開平7-288274
出願日： 1994年04月19日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】【目的】 基板移換装置の稼働効率を高める。また、基板移換装置の小型化を図る。【構成】 一方のカセット治具6の任意の位置から他方のカセット治具6の任意の位置への基板8の移し換えを搬送アーム3で一枚づつ行う基板移換装置において、前記搬送アーム3と共に移動し、前記基板3の検出を行う検出方法が異なる2つの基板検出手段(検出センサー12A,12B)を備える。また、一方のカセット治具6を他方のカセット治具6上に配置する。

請求項（抜粋）：

一方のカセット治具の任意の位置から他方のカセット治具の任意の位置への基板の移し換えを搬送アームで一枚づつ行う基板移換装置において、前記搬送アームと共に移動し、前記一方のカセット治具に収納された基板の検出を行う検出方法が異なる2つの基板検出手段を備えたことを特徴とする基板移換装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 543 ,  B65G 49/07