特許
J-GLOBAL ID：200903006521000809
微小部分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314067
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154480
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 一次電子線8の照射領域が微小化しているが、上記電子線の散乱等の影響により、オージェ電子の発生領域9は実際の一次電子線のビーム径よりも数倍広くなってしまう。【解決手段】 絶縁物4を介して、試料台2内部にファラデーカップ3を配置している。そして、一次電子線が試料台2表面からファラデーカップ3内に到達するよう、穴7が設けられている。
請求項（抜粋）：
被分析試料を励起するために、該試料に一次電子線を照射する手段と、該一次電子線を偏向走査するための偏向手段と、上記試料から発生した二次電子を分析するための電子線エネルギー分析手段と、該電子線エネルギー分析手段により分析された電子を検知する検知手段と、上記試料を透過した一次電子線を捕獲するための捕獲する手段と、上記試料を搭載する試料台とを有する微小部分析装置において、上記試料台の内部に少なくとも1個以上の、上記試料を透過した一次電子線を捕獲するためファラデーカップと、少なくとも1個以上の、上記試料を透過した上記一次電子線が上記試料台表面から上記ファラデーカップまで通過する穴とを有することを特徴とする微小部分析装置。
IPC (3件)：
H01J 37/244
, G01N 23/227
, H01J 37/252
H01J 37/244
, G01N 23/227
, H01J 37/252 A
, H01J 37/252 Z
