特許
J-GLOBAL ID：200903006522459350
レーザ干渉測長器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095349
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280827
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】時間的に見た空気の揺らぎを小さくすることができ、これにより精度よく測長ができるレーザ干渉測長器を得ることにある。【解決手段】レーザ発振器1からのレーザビームをビームスプリッタ2により測定用ビームと参照用ビームに2分割し、該測定用ビームを被移動測定物40に反射させて得られる反射ビームと前記参照用ビームを2で重ね合わせて合波干渉させて干渉光を出射させる干渉計と、干渉光の強度を検出する光検出器5と、5の検出出力に基づいて基準点から40までの長さを測定する測長回路6とを備え、1と2の間に配設され、1からのレーザビームの直径を拡大するレーザビーム拡大器7と、2と5の間に配設され、2からの干渉光の直径を縮小するレーザビーム縮小器8を具備したレーザ干渉測長器。
請求項（抜粋）：
レーザ光源から出射されたレーザビームをビームスプリッタにより測定用ビームと参照用ビームに2分割し、該測定用ビームを被移動測定物に反射させて得られる反射ビームと前記参照用ビームとを前記ビームスプリッタで合波干渉させて干渉光を出射させる干渉計と、前記干渉光の強度を検出する光検出器と、この光検出器の検出出力に基づいて基準点から前記被移動測定物までの長さを測定する測長回路とを備えたレーザ干渉測長器において、前記レーザ光源と前記ビームスプリッタの間に配設され、前記レーザ光源からのレーザビームの直径を拡大するレーザビーム拡大器と、前記ビームスプリッタと前記光検出器の間に配設され、前記ビームスプリッタからの干渉光の直径を縮小するレーザビーム縮小器と、を具備したレーザ干渉測長器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
