特許

J-GLOBAL ID：200903006527775802

基板面端部の過剰塗布液除去方法および装置

発明者： 吉川 俊明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 西山 恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-364357
公開番号（公開出願番号）：特開2003-164789
出願日： 2001年11月29日
公開日（公表日）： 2003年06月10日
要約：

【要約】【課題】 スリットコート法により塗布された有機膜の塗布開始部及び塗布終了部の盛り上がり部分を除去し、塗布膜全面が均一な膜厚になるようにする。【解決手段】 スリットコート法により基板上に塗布された有機膜の塗布開始部及び塗布終了部の盛り上がり部分にレーザー光を照射することで不要部分の有機膜を気化除去する。

請求項（抜粋）：

基板面への塗布液の塗布終了時に基板面端部に残留する過剰塗布液を除去する、基板面端部の過剰塗布液除去方法であって、基板面への塗布液の塗布終了後に、基板の過剰塗布液が残留する側の端縁に光を照射し過剰塗布液を蒸散させることを特徴とする過剰塗布液除去方法。

IPC (5件)：

B05C 9/12 ,  B05D 3/06 ,  B05D 7/00 ,  G03F 7/38 501 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

B05C 9/12 ,  B05D 3/06 Z ,  B05D 7/00 H ,  B05D 7/00 P ,  G03F 7/38 501 ,  H01L 21/30 577

Fターム (22件)：

2H096AA27 ,  2H096CA12 ,  2H096DA10 ,  2H096JA02 ,  4D075BB45Z ,  4D075BB48Z ,  4D075CA22 ,  4D075DA06 ,  4D075DB01 ,  4D075DB13 ,  4D075DB18 ,  4D075DB31 ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4F042AA01 ,  4F042AA02 ,  4F042AA10 ,  4F042BA22 ,  4F042BA25 ,  4F042DB52 ,  5F046JA15 ,  5F046MA04