特許

J-GLOBAL ID：200903006529776237

薄膜キャパシタ

発明者： 水澤 由美
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323485
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183165
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】 大容量を保持しつつ、実用的に満足し得る程度にリーク電流密度の低減化を図られた薄膜キャパシタを提供しようとするものである。【構成】 上部電極と下部電極とに挟まれた無機質多結晶誘電体層の膜厚方向に平均結晶粒径の小さい層が存在することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

電極間に挟まれた誘電体層中に、前記電極間の膜厚方向に平均結晶粒径の小さい層が存在する無機質多結晶誘電体層を有することを特徴とする薄膜キャパシタ。