特許
J-GLOBAL ID：200903006536889543
焦点位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-032163
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227971
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】 構造が単純で精度劣化が起きにくく、安価に製作可能な焦点位置検出装置を提供する。【解決手段】 対物レンズの結像面2の共役位置にある予定焦点面4の近傍に設置された受光素子8は、その表面8Sと予定焦点面4とが交差するように予定焦点面4に対して所定角度θ傾けて配設される。受光素子8の表面8Sと予定焦点面4との交線Cに関して互いに対称な位置に配された受光素子上の複数のCCDアレイは、受光素子8の傾斜によって予定焦点面4に対してそれぞれ前側、後側に光軸方向のずれを生ずる。制御回路9は、このずれをもとにこれら複数のCCDアレイで検出される信号から求められるコントラスト差を求め、その結果をもとに対物レンズ1を光軸方向に駆動し、焦点調節を行う。
請求項（抜粋）：
物体からの光を集光して所定像面に像を形成する対物光学系と、前記所定像面の光学的共役位置にある予定焦点面の近傍に配され、前記対物光学系により形成された像を検出するための光電検出手段とを具備し、前記光電検出手段の所定面を前記予定焦点面と交差するように所定角度傾斜して配設し、前記予定焦点面と前記所定面との交線に関して互いに対称の位置に配設された前記所定面上の複数の受光領域で検出された信号に基づき、前記予定焦点面と前記対物光学系の結像位置との位置ずれを検出することを特徴とする焦点位置検出装置。
IPC (3件)：
G02B 7/36
, G03B 13/36
, H04N 5/232
G02B 7/11 D
, H04N 5/232 H
, G03B 3/00 A
