特許
J-GLOBAL ID：200903006539915820
レーザ加工用セラミック複合材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森下 武一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-223260
公開番号（公開出願番号）：特開平11-058343
出願日： 1997年08月20日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：
【要約】【課題】 セラミックグリーンシートに所望の形状の穴や溝を高精度で、効率良く形成することができるレーザ加工用セラミック複合材を得る。【解決手段】 レーザ加工用セラミック複合材11は、樹脂製キャリアフィルム12と、この樹脂製キャリアフィルム12に支持されたセラミックグリーンシート10と、セラミックグリーンシート10上にさらに、セラミックグリーンシート10にビアホール用穴やコイル及びコンデンサパターン用溝を形成するためのマスク穴が形成されるマスク層15とで構成されている。マスク層15は、レーザビームの吸収率の低い材料からなる。
請求項（抜粋）：
樹脂製キャリアフィルムと、該樹脂製キャリアフィルム上に支持されたセラミックグリーンシートと、該セラミックグリーンシート上に設けられ、レーザビームにより前記セラミックグリーンシートを選択的に除去するための透光部を形成するためのマスク層とからなり、該マスク層が前記レーザビームの吸収率の低い材料からなることを特徴とするレーザ加工用セラミック複合材。
IPC (6件)：
B28B 11/00
, B28B 11/12
, B32B 18/00
, H01G 13/00 391
, B23K 26/18
, H05K 3/00
B28B 11/00 Z
, B28B 11/12
, B32B 18/00 Z
, H01G 13/00 391 H
, B23K 26/18
, H05K 3/00 N
