真空チャンバを備えたX線小角散乱装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横川邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-104009
公開番号（公開出願番号）：特開平9-269303
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】 X線光路を真空チャンバで包囲して真空に保持するようにしたX線小角散乱装置において、スリットなどの光学要素の調節作業に関する操作性を向上する。【解決手段】 X線源Fから放射されたX線をスリット1及びスリット2によって平行X線ビームに成形し、スリット2で発生する寄生散乱X線の進行をスリット3で阻止しながら平行X線ビームを試料Sへ導き、試料Sから発生する散乱X線を平面状X線検出器4で検出する。スリット1とスリット2の間に真空チャンバ11aを設置し、真空チャンバ11bによってスリット3及び試料Sを包囲する。スリット1及びスリット2は真空チャンバ11a,11bの外側に位置するので、それらのスリットの交換などは、真空を解除すること無しに簡単に行うことができる。

請求項（抜粋）：

X線源から放射されたX線を平行X線ビームに成形する第1スリット及び第2スリットと、第2スリットで発生する寄生散乱X線の進行を阻止しながら平行X線ビームを試料へ導く第3スリットと、試料から発生する被測定散乱X線を検出するX線検出器とを有するX線小角散乱装置において、第1スリットと第2スリットとの間に配設された第1真空チャンバと、第2スリットとX線検出器との間に配設されて第3スリット及び試料を包囲する第2真空チャンバとを有することを特徴とするX線小角散乱装置。

IPC (3件)：

G01N 23/201 , G01T 1/29 , G21K 1/10

FI (3件)：

G01N 23/201 , G01T 1/29 C , G21K 1/10 S

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