特許

J-GLOBAL ID：200903006546491521

膜、及び記録媒体

発明者： 遠藤 克巳 ,  北折 典之 ,  吉田 修 ,  佐々木 克己 ,  石川 准子
出願人/特許権者： 花王株式会社
代理人 (1件)： 宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-247191
公開番号（公開出願番号）：特開平9-086911
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【課題】 耐蝕性、耐久性に優れた膜を提供する。【解決手段】 X線光電子分光分析による構造解析による292.5±1.0eVの領域にCF<SB>2 </SB>結合のピークを、290.0±1.0eVの領域にCF結合のピークを、287.5±3.0eVの領域にC-C結合のピークを有するCF<SB>n</SB>(但し、1<n<2)のフッ素含有アモルファスカーボン膜からなる膜。

請求項（抜粋）：

X線光電子分光分析による構造解析による292.5±1.0eVの領域にCF<SB>2 </SB>結合のピークを、290.0±1.0eVの領域にCF結合のピークを、287.5±3.0eVの領域にC-C結合のピークを有するCF<SB>n </SB>(但し、1<n<2)のフッ素含有アモルファスカーボン膜からなることを特徴とする膜。

IPC (5件)：

C01B 31/02 101 ,  C01B 31/00 ,  G11B 5/72 ,  G11B 7/24 534 ,  G11B 11/10 521

FI (5件)：

C01B 31/02 101 Z ,  C01B 31/00 ,  G11B 5/72 ,  G11B 7/24 534 H ,  G11B 11/10 521 J