特許
J-GLOBAL ID：200903006557467959
レーザ装置の変調制御方法及び校正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
福山 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-086860
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274483
出願日： 2000年03月27日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：
【要約】【課題】(ヨウ素安定化He-Ne)レーザ装置の周波数変調信号を同期して周波数変調信号の周波数及び位相を等しくし、レーザ装置の周波数校正等においてレーザ間の周波数差の高精度測定及び校正を可能とする。【解決手段】レーザ発振周波数を変調信号により変調して変調レーザ光を発生する複数台、例えば、2台のレーザ装置1,2を備え、第1のレーザ装置1で発生した基準クロック信号及び同期信号を、第2のレーザ装置2の変調動作基準信号として供給することにより、同一周波数、同一位相の変調信号を得ている。また、第1のレーザ装置1はマスター側として設定され、前記第2のレーザ装置2はスレーブ側として設定され、スレーブ側のレーザ装置の変調信号を、マスター側の変調信号と同一周波数、同一位相の変調信号として上記スレーブ側の特定の周波数を校正する。
請求項（抜粋）：
レーザ発振周波数を変調信号により変調して変調レーザ光を発生する複数台のレーザ装置を備え、第1のレーザ装置で発生した基準クロック信号及び同期信号を、他の少なくとも1台の第2のレーザ装置の変調動作基準信号として供給することを特徴とするレーザ装置の変調制御方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
5F072AA01
, 5F072JJ05
, 5F072JJ20
, 5F072KK06
, 5F072MM03
, 5F072QQ02
, 5F072YY20
