特許
J-GLOBAL ID：200903006558028096
筋状欠陥検出方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-034433
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203585
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 簡潔な構成で物体の表面の筋状欠陥をゴミや塵のスポット状物と区別して検出する。【構成】 移動する物体の表面にその物体の移動方向とほぼ直角方向に光学ヘッドを往復運動させながら光照射し、その物体からの反射光または物体の透過光を光学ヘッドで受光し、電気信号に変換し、該信号が所定レベルを越えている時間の長さが所定時間を越えたとき筋状欠陥ありと判定する。
請求項（抜粋）：
移動する物体の表面に該物体の移動方向とほぼ直角方向に光学ヘッドを往復運動させながら光照射し、該物体からの反射光または物体の透過光を前記光学ヘッドで受光し、電気信号に変換し、該信号が所定レベルを越えている時間の長さが所定時間を越えたとき筋状欠陥ありと判定することを特徴とする筋状欠陥検出方法。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/88
