特許
J-GLOBAL ID：200903006559247522

固体撮像素子及びその製造方法

発明者：
岩渕 寿章

岩渕 寿章 について

, 
岩淵 信

岩淵 信 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (2件)： 角田 芳末 ,  磯山 弘信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-434446
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191492
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 カラーフィルターやオンチップレンズ等を良好な状態で形成することを可能にする、固体撮像素子の構造及び固体撮像素子の製造方法を提供する。【解決手段】 受光部PDが形成された半導体層2の下に、絶縁層内5に配線層6が形成されて成る配線部7が設けられ、半導体層2の上にカラーフィルター3又はオンチップレンズ4が少なくとも形成され、半導体層2内に絶縁膜12を介してパッド電極11が埋め込まれ、パッド電極11がコンタクト層14を介して配線層13に電気的に接続され、パッド電極11上に開口が形成されている固体撮像素子1を構成する。また、半導体層2内に形成した凹部内に絶縁膜12を介してパッド電極11を形成した後に、半導体層2内に受光部PDとなる不純物領域を形成し、半導体層2の表面側に配線部7を形成し、パッド電極11の裏面側に開口を形成し、半導体層2の裏面側に塗布したレジストを用いてカラーフィルター3又はオンチップレンズ4を形成して、上記固体撮像素子1を製造する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
受光部が形成された半導体層と、 前記半導体層の下に設けられ、絶縁層内に配線層が形成されて成る配線部とを有し、 前記半導体層の上に、カラーフィルター又はオンチップレンズが、少なくとも形成されている固体撮像素子であって、 前記半導体層にパッド電極が埋め込まれ、 前記半導体層と前記パッド電極が絶縁膜により絶縁されていると共に、前記パッド電極がコンタクト層を介して前記配線層に電気的に接続され、 前記パッド電極上の前記絶縁膜及び前記半導体層に、前記パッド電極に達する開口が形成されている ことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
H01L27/14 ,  H04N5/335
FI (2件)：
H01L27/14 D ,  H04N5/335 U
Fターム (23件)：
4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118EA01 ,  4M118EA18 ,  4M118FA06 ,  4M118GA02 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118HA21 ,  4M118HA22 ,  4M118HA31 ,  4M118HA33 ,  5C024CY47 ,  5C024CY48 ,  5C024CY49 ,  5C024EX22 ,  5C024EX25 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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