特許

J-GLOBAL ID：200903006559610040

微細溝加工装置及び加工方法

発明者： 川瀬 俊光 ,  宮崎 俊彦 ,  黒田 亮 ,  多川 昌宏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-287123
公開番号（公開出願番号）：特開平6-119901
出願日： 1992年10月02日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 探針の位置を上下させる探針駆動機構113と、探針と加工基板を相対変位させる相対変位駆動機構114と、相対変位駆動機構の移動量を測長する移動量測長機構115,116と、加工基板と探針間の距離を制御する距離制御手段と、加工基板の所望加工位置の凹凸情報を検出し保存する凹凸情報検出保存手段と、凹凸情報検出保存手段にて保存された情報を抽出する凹凸情報抽出手段と、凹凸情報にDC電圧をたし込み所望量探針を上下動させるための電圧付加回路124と、相対変位駆動機構と移動量測長機構と距離制御手段と凹凸情報検出保存手段と凹凸情報抽出手段とをシーケンスコントロールする中央演算処理手段127とを有する装置。【効果】 均一な幅でかつ均一な高さを持った微細溝を長ストロークにわたって高速に形成することができる。

請求項（抜粋）：

先端の鋭利な探針を用いて加工基板上に微細溝を加工形成する微細溝加工装置において、該探針の位置を上下させる探針駆動機構と、該探針と該加工基板を相対変位させる相対変位駆動機構と、該相対変位駆動機構の移動量を測長する移動量測長機構と、該加工基板と該探針間の距離を制御する距離制御手段と、該加工基板の所望加工位置の凹凸情報を検出し保存する凹凸情報検出保存手段と、該凹凸情報検出保存手段にて保存された情報を抽出する凹凸情報抽出手段と、該凹凸情報にDC電圧をたし込み所望量探針を上下動させるための電圧付加回路と、上記相対変位駆動機構と移動量測長機構と距離制御手段と凹凸情報検出保存手段と凹凸情報抽出手段とをシーケンスコントロールする中央演算処理手段とを有することを特徴とする微細溝加工装置。

IPC (2件)：

H01J 37/30 ,  G11B 9/00