特許
J-GLOBAL ID：200903006577144196
ボンディング装置及びその方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-031370
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224248
出願日： 1993年01月27日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 キャピラリの先端に形成されるイニシャルボールの位置を正確に一致させて正常なボンディングを行うこと。【構成】 カメラによって撮像された電極1aに関する2値化データを受けて、XYテーブルの座標点を基準として電極1a部分の中心の座標データを求め、次にカメラによってボンディングされたボールBを撮像してこのボールBに関する2値化データを受けて、XYテーブルの座標点を基準としてボールBの中心に関する座標データを求めて、この求められた夫々の座標データから電極1a及びボールBの中心間距離を算出して、カメラとキャピラリとの相対的な距離を設定するようにした。
請求項（抜粋）：
被ボンディング部位を撮像するカメラ及びボンディングヘッドが搭載されX方向及びY方向に移動可能なXYテーブルと、前記カメラによって撮像された被ボンディング部位に関する画像データをデジタル化する画像認識ユニットと、前記画像認識ユニットから供給されるデジタルデータを受けて前記XYテーブルの座標点を基準とした被ボンディング部位及びボールの座標点を算出するコントローラユニットとを備えたボンディング装置であって、前記カメラによって撮像された被ボンディング部位に関するデジタルデータを受けて、前記XYテーブルの座標点を基準として前記被ボンディング部位の中心の座標データを求める第1の手段と、前記カメラによってボンディングされたボールを撮像してこのボールに関するデジタルデータを受けて、前記XYテーブルの座標点を基準として前記ボールの中心に関する座標データを求める第2の手段と、前記第1及び第2の手段によって夫々求められる座標データから被ボンディング部位とボールの中心間距離を算出する第3の手段とを有することを特徴とするボンディング装置。
IPC (5件)：
H01L 21/60 301
, H01L 21/60
, G01B 11/24
, G06F 15/62 405
, H01L 21/68
