特許
J-GLOBAL ID：200903006577203702
フッ素ガス中の不純物ガスの分析方法およびその装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 馨 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-078670
公開番号（公開出願番号）：特開平7-287001
出願日： 1994年04月18日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】 簡便かつ精度良くフッ素ガス中の不純物ガスの分析を行う方法を提供する。【構成】 不純物ガスを含有するフッ素ガスを金属フッ化物充填層に通し、フッ素ガスを固定化除去した後、ガスクロマトグラフにより分析する。
請求項（抜粋）：
不純物ガスを含有するフッ素ガスを金属フッ化物充填層に通し、フッ素ガスを固定化除去した後、ガスクロマトグラフにより分析することを特徴とするフッ素ガス中の不純物ガスの分析方法。
IPC (3件)：
G01N 30/14
, G01N 1/00 101
, G01N 30/88
