特許

J-GLOBAL ID：200903006580676883

基板保持方法および該方法に用いる基板保持機構

発明者： 日野 輝重
出願人/特許権者： 株式会社アドバンスト・ディスプレイ
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-302694
公開番号（公開出願番号）：特開平9-147786
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】 ウエハなどの基板を保持する際に、ホルダ内で遠心力方向への基板とホルダの隙間をなくし、基板表面のレジストのパターンや配線のパターンの剥離、および基板表面からの発塵を防止することができる基板保持方法を提供する。【解決手段】 回転円板1に形成されるホルダ2の凹部3に載置される基板4を基板保持機構5により保持する基板保持方法であって、前記基板4を凹部3に載置する際に、同時に基板4の周縁を凹部3の壁面11aに当接し、ついで前記基板4の周縁部4a上を押しつける。

請求項（抜粋）：

回転円板に形成されるホルダの凹部に載置される基板を基板保持機構により保持する基板保持方法であって、前記基板を凹部に載置する際に、載置と同時に基板の周縁を凹部の壁面に当接させ、ついで前記基板の周縁部上を押しつけることを特徴とする基板保持方法。

IPC (6件)：

H01J 37/317 ,  G02F 1/13 101 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/304 361 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01J 37/317 B ,  G02F 1/13 101 ,  H01J 37/20 A ,  H01L 21/304 361 S ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/265 E